干式真空泵是利用在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，真空度更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式/水環式/噴射式真空泵的更新換代產品。
　　一、干式真空泵應用
　　1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
　　2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
　　3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
　　4、在化學工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
　　5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染；
　　二、干式真空泵性能優勢
　　1、工作腔內無任何介質，可獲得清潔真空。
　　2、工作腔及螺桿轉子表面有防腐涂層，可適應惡劣工況。
　　3、氣體在泵內無壓縮，適宜抽取可凝性氣體。
　　4、單臺泵可從大氣抽至 1Pa，真空系統可大大簡化。
　　5、水溫對真空影響小，節水達90%以上 ,甚至可以不耗水。
　　6、不耗油，無滴漏。
　　7、旋轉部件間無摩擦，可高速運轉， 整機體積小。
　　8、結構簡單，維護方便。
　　9、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環保壓力，氣體回收更便捷。
　　10、可與羅茨泵、分子泵組成無油機組。